第309章 手测参数注入数控大脑

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哭。
    他笑了。
    笑着笑着,把脸埋进膝盖里。
    ---
    光刻机活了。
    但活过来只是第一关。
    三天后,第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。
    刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的,简陋但干净。
    酸液配方按照教科书上的标准比例调配。
    第一片硅片放进去.
    计时,取出,纯水冲洗,推到显微镜下。
    江俊看了一眼,脸色变了。
    “侧蚀太严重。”
    他让开目镜,林希凑上去看。
    5微米的线条,被酸液从两侧啃进去将近2微米。
    剩下的线宽不到1微米,有些地方已经断了。
    换配方,提高酸液浓度。
    第二片,断线更多。
    降低浓度,缩短时间。
    第三片,沟槽底部没刻透。
    连续三个通宵。
    十七种配方。
    没有一片合格。
    第四天凌晨,刻蚀车间里弥漫着酸雾的味道。
    陈默靠在墙角打盹,江俊的眼睛布满血丝。
    林希坐在角落,闭上眼睛。
    脑海里,直播间的画面亮了起来。
    他把问题原原本本地说了一遍。
    弹幕沉默了十几秒。
    然后一个ID冒了出来:【材料狗不睡觉】。
    【别用纯HF。】
    【现在的光刻胶耐酸性差,纯氢氟酸刻蚀速率太快,根本控不住侧向钻蚀。】
    紧接着,第二条弹幕:
    【加NH4F做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1,槽液温度锁死35度。这个配方叫BOE,缓冲氧化物刻蚀液。】
    第三条:
    【关键点:35度恒温。温度每波动1度,刻蚀速率变化8%。你们没有恒温槽的话,用水浴锅套着不锈钢槽,温度计插在水浴里,人工盯着。】
    第四条,另一个ID【半导体搬砖人】:
    【NH4F这东西你们1983年应该能搞到,化工厂有。纯度不用太高,分析纯就够。】
    弹幕区停了一秒。
    然后齐刷刷一排:
    【大佬!】
    【材料狗永远不睡觉,但永远能救命!】
    【六比一!记住了!考试要考!】
    林希睁开眼。
    “陈师傅。”
    “化工库房里有没有氟化铵?”
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